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RTP快速退火爐

更新時(shí)間: 2024-05-09

訪(fǎng)問(wèn)次數: 10878

產(chǎn)品報價(jià):

產(chǎn)品簡(jiǎn)介: RTP快速退火爐操作便捷,電熱元件采用紅外燈管,升溫速度快,節省時(shí)間,滑動(dòng)法蘭使裝卸樣品過(guò)程簡(jiǎn)化,方便操作,可快速得到實(shí)驗結果,取消了反復的法蘭安裝過(guò)程,減少了爐管因安裝造成的損壞。

詳細資料:

RTP快速退火爐產(chǎn)品用途:

此款CVD生長(cháng)系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長(cháng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實(shí)驗。

RTP快速退火爐產(chǎn)品組成:

此款CVD系統配置:

1.1200度開(kāi)啟式真空管式爐(可選配單溫區、雙溫區)。

2.多路質(zhì)量流量控制系統

3.真空系統(可選配中真空或高真空)    

產(chǎn)品特點(diǎn):

1 控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過(guò)沖,性能可靠,操作簡(jiǎn)單。


2中真空系統具有真空度上下限自動(dòng)控制功能,高真空系統采用高壓強,耐沖擊分子泵

防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長(cháng)系統使用壽命。

產(chǎn)品名稱(chēng)

RTP系列-滑動(dòng)式快速退火爐

產(chǎn)品型號

RTP-G06123K-H

額定功率

9KW

額定電壓

220AC 50/60Hz

極限溫度

1000℃

連續工作

950℃(<1 小時(shí))

加熱區長(cháng)度

250mm

恒溫區長(cháng)度

200mm

加熱元件

紅外燈管

溫度控制

國產(chǎn)程序控溫系統可編程50段程序控溫;

控制精度

±1℃

石英管尺寸

Φ60/Φ80/Φ100mm

爐管材質(zhì)

石英管

滑動(dòng)距離

300mm

大降溫速度

900~200℃的降溫速度:15min

zui快升溫速度

50oC/S

滑動(dòng)控制

由溫度控制器自動(dòng)控制爐體移動(dòng).  當程序完成,爐體按設定的速度滑動(dòng)。

流量計

浮子流量計60-600ml/min

滑軌尺寸

360 x1300x265mm

外形尺寸

360x385x595mm

重量

85Kg

標準配置

氣路總成一套(含真空壓力表)石英管一支、石英堵三個(gè)、鉤子一把、高溫手套一副。


 

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