產(chǎn)品目錄 / Product catalog
RTP快速退火爐
更新時(shí)間： 2024-05-09
訪(fǎng)問(wèn)次數： 10878
產(chǎn)品報價(jià)：
產(chǎn)品簡(jiǎn)介： RTP快速退火爐操作便捷，電熱元件采用紅外燈管，升溫速度快，節省時(shí)間，滑動(dòng)法蘭使裝卸樣品過(guò)程簡(jiǎn)化，方便操作，可快速得到實(shí)驗結果，取消了反復的法蘭安裝過(guò)程，減少了爐管因安裝造成的損壞。
詳細資料：
RTP快速退火爐產(chǎn)品用途：
此款CVD生長(cháng)系統適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長(cháng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實(shí)驗。
RTP快速退火爐產(chǎn)品組成：
此款CVD系統配置：
1.1200度開(kāi)啟式真空管式爐（可選配單溫區、雙溫區）。
2.多路質(zhì)量流量控制系統
3.真空系統（可選配中真空或高真空）
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1 控制電路選用模糊PID程控技術(shù)，該技術(shù)控溫精度高，熱慣性小，溫度不過(guò)沖，性能可靠，操作簡(jiǎn)單。
2中真空系統具有真空度上下限自動(dòng)控制功能，高真空系統采用高壓強，耐沖擊分子泵
防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長(cháng)系統使用壽命。
產(chǎn)品名稱(chēng) | RTP系列-滑動(dòng)式快速退火爐 |
產(chǎn)品型號 | RTP-G06123K-H |
額定功率 | 9KW |
額定電壓 | 220AC 50/60Hz |
極限溫度 | 1000℃ |
連續工作 | 950℃(<1 小時(shí)) |
加熱區長(cháng)度 | 250mm |
恒溫區長(cháng)度 | 200mm |
加熱元件 | 紅外燈管 |
溫度控制 | 國產(chǎn)程序控溫系統可編程50段程序控溫； |
控制精度 | ±1℃ |
石英管尺寸 | Φ60/Φ80/Φ100mm |
爐管材質(zhì) | 石英管 |
滑動(dòng)距離 | 300mm |
大降溫速度 | 900~200℃的降溫速度:15min |
zui快升溫速度 | 50oC/S |
滑動(dòng)控制 | 由溫度控制器自動(dòng)控制爐體移動(dòng). 當程序完成，爐體按設定的速度滑動(dòng)。 |
流量計 | 浮子流量計60-600ml/min |
滑軌尺寸 | 360 x1300x265mm |
外形尺寸 | 360x385x595mm |
重量 | 85Kg |
標準配置 | 氣路總成一套（含真空壓力表）石英管一支、石英堵三個(gè)、鉤子一把、高溫手套一副。 |
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