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高真空擴散泵的工作原理主要分兩個(gè)部分
更新時(shí)間：2023-03-15 點(diǎn)擊次數：2158
高真空擴散泵是一種常用的真空泵，其主要運用于對于高真空的抽取任務(wù)，具有抽取速度快，體積小等優(yōu)點(diǎn)。那么，它是如何工作的呢？
它的工作原理主要分為兩個(gè)部分。
一是加熱部分，也就是依靠加熱器將靶材或者坩堝內的固態(tài)物質(zhì)升溫至高溫，使其迅速揮發(fā)，形成高溫蒸汽。
二是抽氣部分，即利用泵體內的擴散機構對高溫蒸汽進(jìn)行抽取，通過(guò)下游系統的管道將氣體排出去，達到真空效果的一個(gè)過(guò)程。
在高真空擴散泵中，加熱部分的作用主要是將靶材或者其他固態(tài)物質(zhì)進(jìn)行升溫，在這個(gè)過(guò)程中，固態(tài)物質(zhì)逐漸變成氣態(tài)，再通過(guò)抽氣部分將其抽出，形成高速、高質(zhì)量的高溫氣體流。這樣，不斷循環(huán)操作下去，就可以逐漸將被抽空的空間變成高真空環(huán)境。
高真空擴散泵的抽氣部分，主要是通過(guò)內部某種特殊組織結構下的氣體擴散增加泵的抽氣速率和吞吐量。其抽氣原理是：在泵內形成氣體流動(dòng)，在其裝置內形成高速氣漿，并將其中的分子輸送到吸附表面。通過(guò)高真空環(huán)境則會(huì )在表面上發(fā)生吸附，在高溫蒸汽的作用下，吸附的過(guò)程將得到逐漸解除。這里的能量轉換方式通過(guò)氣體的擴散和移動(dòng)形成。而其抽氣器結構則是合理地根據上述原理設計而來(lái)，通過(guò)抽氣器的擺動(dòng)或旋轉等技術(shù)手段，可以將這些吸附在泵內表面上的氣體分子重新?lián)]發(fā)并抽出，裝置出口處形成的真空環(huán)境得到維護和保持。
總之，高真空擴散泵通過(guò)上述加熱和抽氣原理，不斷地將被抽空的空間內的氣體逐漸排出，不斷加深真空度，形成了一種非常高質(zhì)量的真空環(huán)境。而其依靠加熱裝置和抽氣裝置相關(guān)結構相互作用，則有了更為的抽取效率和迅速響應能力，也成為各個(gè)領(lǐng)域的必裝設備。
